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工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气: N2、H2、He、Ar、O2 ; 组分气: PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等，为了减少平衡气体中***杂质的含量，设有平衡气体高压净化器，通过净化平衡气的纯度大于99. 9999%，在净化器的出口设有在线H2O、O2 检测仪表，随时反映净化器出口气体关键杂质的含量，这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于******，吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气，化学法虽然能够通过反应进行中和，但由于涉及水溶液，***标准气体厂家，因此，该法不是推荐方法，我们通常采用催化分解或燃烧的方法，可有效解决除AsH3 以外的有***体，AsH3 处理只是由气态***物变为固态而已。

为了避免交叉污染，工业气体配气设备的数量应根据业务情况确定，这一点十分重要，如配完B2H65%-H2 混合气，由于B2H6 的化学特性，通过吹扫抽空很难在短时间内将吸附在系统内的残存B2H6 吹净，若该系统再配制PH3 混合气，无疑将严重污染该气体。由于它们同属于掺杂气体，稍有残留将无法使用。

标准气体中组分与钢瓶(容器)材料的反应：

在制备标准气体之前，还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应(如氧化、腐蚀、吸附等)问题，以便保证标准气体的稳定性。依据组分气体与包装容器材质的相容性，选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装标准气体。

另外，在往气瓶中充入每一个组分之前，配气系统各管路应抽成真空，或者用待充的组分气体反复进行增压-减压来置换清洗阀门和管路，直到符合要求为止。为了避免先稳量的组分气体的损失，在往气瓶中充入第二个组分时，该组分气体的压力应远高于气瓶中的压力。为了防止组分气体的反扩散，在充完每一个组分后，在热平衡的整个期间应关闭气瓶阀门，然后进行称量。

氮，相对分子质量28.0164，标准气体厂家***，常温常压下是无色、无味、无臭的气体，苏州标准气体厂家，77.35K时冷凝为无色的液体，63.14K凝固成β态固体．35 .6K时转化为α态固体。

大气中有大约4／5的氮气，但是氮气的发现却经历了20多年的漫长历程。1755年英国科学掌布拉克(J．Black)发现木炭在玻璃罩内燃烧以后的剩余气体，经过溶液吸收以后仍有一定数量的气体保留下来，这是人类感到这种气体的存在。1772年，布拉克的学生卢塞福(D．Rutherford)又在密闭的器皿中用燃烧磷除去空气中助燃气体，发现剩余的气体不能维持生命并有灭火的性质，而且不能溶于溶液，命名这种气体为“浊气”或“***”。但是卢塞福不承认它是空气的组成部分。普里斯特里（J．Priestley）在1772年的实驻中了解到未炭在密闭于水上的空气中燃烧时，空气中有1/5的气体变为碳酸气，用石灰水处理后的气体，不助燃也不助呼吸。由于“燃素说”的影响，标准气体厂家批发，他也不承认氮气是空气的组成部分。与此同时瑞典的科学家舍勒(c．w．Scheele)利用硫磺和铁粉的混合物来吸收大气中的氧气制得氮气。他认为氮气是空气组成分之一的人。他指出“这种气体比较轻，能灭火”。后来拉瓦锡（A．L．L***isier）给这种气体命名为“Azote”，中文翻译成“氮”是“无益于生命“的意思。

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